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高电负性气体相关论文
Ar/SF6射频感性放电空间特征属性的数值模拟和解析理论
电负性气体被广泛应用在等离子体刻蚀及基础物理研究等领域,不同负离子的加入不仅造成电负性差异,同时等离子体的平衡结构和输运性......
学位
感性耦合等离子体
高电负性气体
分层结构
局域现象
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