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高纯铝靶材相关论文
高择优取向细晶高纯铝靶材的制备工艺研究
高纯铝靶材被广泛应用于半导体器件制造行业,靶材的制备除了对高纯铝的纯度有要求外,还要求有细小均匀的晶粒组织,以及高比例的(00......
学位
高纯铝靶材
轧制工艺
退火处理
动态再结晶
微观组织
织构演变
高纯铝靶材的制备与组织性能研究
随着国家“十三五”规划对新材料行业的大力支持,高纯铝靶材因为具有优良的性能并作为电子新材料产品的基础,需求将保持快速增长。......
学位
高纯铝靶材
轧制
ECAP
微观组织
力学性能
磁控溅射
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