高纯铝靶材相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

高纯铝靶材相关论文

高择优取向细晶高纯铝靶材的制备工艺研究

高纯铝靶材被广泛应用于半导体器件制造行业,靶材的制备除了对高纯铝的纯度有要求外,还要求有细小均匀的晶粒组织,以及高比例的(00......

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高纯铝靶材轧制工艺退火处理动态再结晶微观组织织构演变

高纯铝靶材的制备与组织性能研究

随着国家“十三五”规划对新材料行业的大力支持,高纯铝靶材因为具有优良的性能并作为电子新材料产品的基础,需求将保持快速增长。......

学位

高纯铝靶材轧制 ECAP 微观组织力学性能磁控溅射

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