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高速高精运动控制相关论文
步进扫描投影光刻机同步机制研究
分析了步进扫描投影光刻机的同步运动过程,将各个分系统分为同步主系统和同步从系统,采用串行同步总线实现了同步主系统的状态发布;分......
期刊
步进扫描投影光刻机
同步控制
状态同步
高速高精运动控制
step and scan projection lithography synchronizatio
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