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高频辉光放电法相关论文
AM混合相Si:P:H薄膜的制备与分析
本文介绍了SiH4/PH3混合气体的高频辉光放电法,在硅、玻璃衬底上淀积的掺P氢化非晶硅膜的结构和特性,并对样品作了高温退火试验,应用x......
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高频辉光放电法
AM混合相
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