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高Al组分n-AlGaN相关论文
高Al组分n-AlGaN的Ti/Al/Ti/Au欧姆接触
采用Ti/Al/Ti/Au多层金属电极对高Al组分n-AlxGa1-xN(x=0.6)欧姆接触的制备进行了研究,通过优化Ti接触层厚度以及合金退火条件,获......
期刊
高Al组分n-AlGaN
Ti/Al/Ti/Au
接触层厚度
两步退火
欧姆接触
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