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Si(111)湿法腐蚀后表面形态的FTIR研究
运用偏振衰减全反射傅立叶变换红外光谱技术(ATR-FTIR),研究了Si(111)在不同比例的NH4F-HCl溶液中腐蚀后的表面形态.通过分析表面......
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扫描隧道显微镜
湿法腐蚀
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