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193nm反射膜相关论文
退火对电子束热蒸发193nm Al2O3/MgF2反射膜性能的影响
设计并镀制了193nm Al2O3/MgF2反射膜,对它们在空气中分别进行了250—400℃的高温退火,测量了样品的透射率光谱曲线和绝对反射率光......
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193nm反射膜
退火
光学损耗
吸收
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