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3英寸碳化硅衬底相关论文
3英寸SiC衬底无架行星式双面抛光运动学分析
针对3英寸SiC衬底的精密抛光加工,设计了其无架行星式适应性双面抛光机构的几何模型.推导了抛光垫上任一点磨粒A 相对SiC 衬底的运......
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3英寸碳化硅衬底
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