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6-DOF磁悬浮平台相关论文
基于自抗扰控制器的6-DOF磁悬浮平台悬浮高度控制
介绍一种应用于半导体光刻、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台。针对该平台的悬浮部分是一个具有参数摄动、输入耦合的复......
期刊
6-DOF磁悬浮平台
参数摄动
自抗扰
扩张状态观测器
6-DOF planar magnetic suspension stage
parameter pe
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