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A1N厚度相关论文
AIN生长条件对Si上外延GaN薄膜影响的生长研究
作为继Ge、Si和GaAs、InP之后的第三代半导体材料,GaN基材料的研究与应用是目前全球半导体研究的前沿和热点,尤其是在电子学和短波光......
学位
GaN薄膜
A1N厚度
载气比
硅衬底
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