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ABS膜相关论文
利用ABS实现MEMS后处理中的电路保护
提出一种以丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)薄膜作为各向异性腐蚀溶液的掩模的薄膜保护方法.ABS胶以旋涂的方法涂布在硅片表面,然后经过......
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硅腐蚀
ABS膜
电路保护
silicon etching
ABS film
protection of circuits
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