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新型压电-流体混合驱动精密位移机构
提出一种新型压电驱动精密位移机构,着重介绍了其结构、工作原理和控制方法,分析了机构参数与输出性能之间的关系.该机构以压电叠......
期刊
精密位移机构
输出性能
压电
电压
驱动
腔体
振动
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机构参数
Piezoelectric actuator
Accurate-motion
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