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AlAlN多层膜相关论文
Al/AlN多层膜的结构和力学性能研究
采用柱状靶直流磁控溅射制备了Al、AlN薄膜和Al/AlN多层膜.Al单组分膜呈现很强的(111)衍射峰,AlN相在单层膜中呈现(100)的择优取向......
会议
柱状靶直流磁控溅射
Al/AlN多层膜
薄膜结构
薄膜硬度
择优取向
弹性模量
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