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Al-Cr-O薄膜相关论文
低温反应溅射沉积富铝Al-Cr-O薄膜的结构与性能的研究
刚玉结构Al-Cr-O薄膜是具有六方紧密堆垛结构的薄膜,与α-Al2O3薄膜性能类似,具有室温和高温硬度高、电绝缘性高、化学稳定性好、......
学位
射频反应磁控溅射
α-Al2O3薄膜
Al-Cr-O薄膜
基体负偏压
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