ZnO薄膜在太阳能电池、电子通讯设备等众多领域具有广阔的应用前景,随着铝、锂、硼、氮等元素的掺杂,ZnO薄膜的性能得到优化。相比......

用磁控溅射法在奥氏体不锈钢上分别制备了SiC单层膜和Al2O3/SiC双层膜,研究了溅射气压,溅 射功率以及退火温度对性能的影响.对比......

高质量的ZnO薄膜通常生长在蓝宝石等晶格匹配好的衬底上,在晶格失配较大的Si衬底上很难得到高质量的ZnO薄膜,而在Si衬底上制备高质......

采用反应磁控溅射的方法在石英衬底上制备了一层Al2O3薄膜,并将其作为后续ZnO薄膜生长的缓冲层。然后,采用反应磁控溅射的方法在Al......

采用射频磁控溅射法，以纯度为99．9％，质量分数98％ZnO、2％Al2O3陶瓷靶为溅射靶材，在预先沉积了ZnO和Al2O3的玻璃衬底上制备了Al2O3掺杂的ZnO......