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AlCr合金靶相关论文

低温反应溅射沉积α-（Al,Cr）2O3膜

使用AlCr合金靶材在高功率脉冲磁控溅射系统中低温反应溅射沉积氧化物薄膜,并与使用纯Al靶反应溅射的薄膜对比。用纳米压痕仪测量......

期刊

材料表面与界面氧化物薄膜 α-（Al Cr）2O3 高功率脉冲磁控溅射 AlCr合金靶纳米压痕

高功率脉冲磁控溅射低温沉积α-（Al,Cr）2O3薄膜及其性能的研究

现代加工产业向高速化、自动化和精密化飞速发展,要求加工用的刀具同时具有优异的高温硬度和韧性,在高温条件下不与被加工材料发生......

学位

涂层刀具 AlCr合金靶高功率脉冲磁控溅射低温沉积 α-（Al Cr）2O3薄膜

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