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低能Ar^+轰击对GaAs,AlxGa1—xAs表面成分的影响
低能离子溅射半导体表面会引起表面结构和成分的变化,导致器件电学性能变差。本文用俄歇电子谱研究了轰击离子能量和束流密度对GaA......
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