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BOE腐蚀速率相关论文
PECVD提高SiO2薄膜致密性的研究
为了在高功率980 nm激光器工艺中制备高质量、均匀性好、致密性高的SiO2薄膜,本文研究了PECVD的反应压强、射频功率、SiH4与N2O流......
期刊
PECVD
SiO2薄膜
致密性
BOE腐蚀速率
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