采用射频磁控溅射法在Pt／TiO2／SiO2／Si（100）衬底上制备了Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜，研究了工作气压、衬底温度等溅射参数对Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜......

Ba0.7Sr0.3TiO3铁电薄膜的介电温谱呈现弥散相变的特征，相对介电常数与温度呈现平方关系．TEM观察表明，10nm量级微畴随机分布在晶粒中,......