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C—SiC涂层相关论文
热处理对注入氢离子的C-SiC涂层表面成分的影响
采用中频磁控溅射结合离子束混合技术在不锈钢基体上制备C-SiC涂层。对制备的涂层进行能量5 keV、剂量1×1018 ions/cm2的氢离......
期刊
C—SiC涂层
氢离子注入
热处理
C-SiC coating
hydrogen implantation
heat treatment
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