CMP抛光相关论文
本研究以中铝山东有限公司Al 2(SO 4)3原料,通过与NH 4HCO 3沉淀反应,在pH=5.5~6.0、温度25℃条件下制得纳米级前驱体无定型前驱体......
针对AlN基片CMP平坦性问题,从pH值、磨料粒度以及磨料的质量分数等方面研究了抛光液参数对抛光效果的影响。通过对AlN基片进行抛光......
针对A1N基片CMP平坦性问题,从pH值、磨料粒度以及磨料的质量分数等方面研究了抛光液参数对抛光效果的影响.通过对A1N基片进行抛光......
硬质合金刀具优良特性使其在刀具产业占有重要地位，且以硬质合金刀片应用范围最广、产量最大。目前，磨削加工是硬质合金刀片的主要精......
