• 不 限
  • 期刊论文
  • 硕博论文
  • 会议论文
  • 报 纸
  • 英文论文
CVD生长技术相关论文
    SiC材料与器件
    ＳｉＣ材料在用作特殊的高温大功率和高速器件方面引起关注是由于它独特的物理和电学性质。本文介绍了ＳｉＣ的基本特性，ＳｉＣ薄膜的ＣＶＤ法和溅射法生长技......
    期刊
    碳化硅材料 CVD生长技术