随着微电子工业的发展,对器件低功耗、高性能化、尺寸微型化以及集成化等方面提出了更高的要求。近年来,一种新型介电材料,钛酸铜......

通过溶胶-凝胶法制备了不同晶格位掺杂以及梯度掺杂CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜,研究了A位Y、A"位Mg和B位Zr掺杂以及梯度掺杂对CCTO薄膜......

本文使用溶胶-凝胶旋涂法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了CaCu3Ti4O12 (CCTO)薄膜,通过改变退火温度、预烧温度、晶化方式、晶化......

采用溶胶-凝胶法在Si(100)基底上制备Ca0.925Sm0.05Cu3-yMgyTi4O12(y=0,0.05,0.10,0.15,0.20,物质的量分数/%,下同)薄膜,研究了镁......