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高温热退火时异质结薄膜CeO_2/Si界面扩散-反应的机理研究
基于CeO2/Si异质结在氧气氛下高温退火界面存在扩散反应过程,建立了扩散-反应方程,对有关的实测数据进行了计算机拟会,其结果与实验能很......
期刊
异质结构
CeO_2/Si
激活能
拟合结果
界面扩散
扩散-反应方程
扩散反应
温度指数
氧化反应
晶体硅
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