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Cu腐蚀相关论文
阵列基板栅极制程的Cu腐蚀研究
在大尺寸液晶显示器的薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)TFT工艺技术中,Cu正逐步取代Al作为电极材料。与Al电极制程相比,在......
期刊
CU电极
Cu腐蚀
电化学效应
刻蚀工艺
剥离工艺
Cu electrode
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阵列基板栅极制程的Cu腐蚀研究
ue*M#’#dkB4##8#”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:(100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
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