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Cu-Zr合金膜相关论文

扩散阻挡层对Cu—Zr纳米合金膜电阻率与残余应力的影响

用磁控溅射和离子束溅射共沉积的方法分别在以单晶硅为基体的TiN,TaN,ZrN扩散阻挡层上沉积了Cu-Zr合金膜,膜在400℃氮气中退火1 h.......

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扩散阻挡层 Cu-Zr合金膜电阻率残余应力 diffusion barrier Cu-Zr alloy film resistivity residual

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