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DSOI器件相关论文
一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件(英文)
为了克服传统 SOI器件的浮体效应和自热效应 ,采用创新的工艺方法将低剂量局域 SIMOX工艺及传统的CMOS工艺结合 ,实现了 DSOI结构......
期刊
DSOI器件
浮体效应
局域注氧技术
drain
heating
buried
fabrication
parasitic
lowering
junction
DSOI器件研究和ULSI器件中的薄膜热传导
SOI(SiliconOnInsulator)器件由于减小了寄生电容和具有良好的驱动能力,被认为是一种很有希望的器件。然而由于低热导率埋氧层(比硅......
学位
DSOI器件
自热效应
浮体效应
热导率
薄膜
边界热阻
尺寸效应
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