DSOI器件相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

DSOI器件相关论文

一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件(英文)

为了克服传统 SOI器件的浮体效应和自热效应 ,采用创新的工艺方法将低剂量局域 SIMOX工艺及传统的CMOS工艺结合 ,实现了 DSOI结构......

期刊

DSOI器件浮体效应局域注氧技术 drain heating buried fabrication parasitic lowering junction

DSOI器件研究和ULSI器件中的薄膜热传导

SOI(SiliconOnInsulator)器件由于减小了寄生电容和具有良好的驱动能力，被认为是一种很有希望的器件。然而由于低热导率埋氧层(比硅......

学位

DSOI器件自热效应浮体效应热导率薄膜边界热阻尺寸效应

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