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F2光刻机相关论文
65nm/45nm工艺及其相关技术
介绍了65 nm/45 nm工艺的研究成果、157 nm F2 stepper技术、高k绝缘层和低k绝缘层等技术.着重讨论了157 nm F2stepper的F2激光器......
期刊
65
nm/45
nm工艺
157
NM
F2光刻机
高k/低k绝缘材料
nm/45 nm technology157 nm F2 stepperhigh k/
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