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FeCoAlN薄膜相关论文
FeCoAlN软磁薄膜的制备与性能
采用磁控溅射法在Ar+N2的混合气氛中制备FeCoA1N薄膜,并对其进行磁场真空热处理,以研究薄膜的结构、磁性及热稳定性。当N2与(N2+m)的流量......
期刊
FeCoAlN薄膜
制备
结构
磁性能
热稳定性
FeCoA1N thin films
preparation
structure
magnetic pr
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