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FeN膜相关论文
对向靶溅射法中直流负偏压对FeN化合物薄膜的结构和磁性的影响
对向靶反应溅射法制备的FeN化合物薄膜的结构和磁性对基板偏压的变化很敏感,不同的偏压数值作用的效果不同。我们用基板偏压促进成......
期刊
FeN膜
结构
磁性
对向靶溅射法
resputtering
lattice distortion
facing targets reactive sput
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