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GalnAsPInP相关论文
GalnAsP/InP跑道型环行谐振腔的制备
采用等离子增强型化学汽相沉积和电子束刻蚀相结合方法制备了直径为1~20μm的GaInAsP/InP跑道型环形谐振腔,采用扫面电镜等方法对......
会议
GalnAsP/InP
环形谐振腔
自由频谱范围
跑道长度
等离子增强
化学汽相沉积
电子束刻蚀
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