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HW—MWECR沉积系统相关论文

用HW—MWECR CVD系统沉积大面积均匀氢化非晶硅薄膜的研究

通过紫外-可见透射谱技术，计算得到薄膜各个位置的拟合厚度值，研究了a-Si：H薄膜的厚度均匀性；通过对紫外-可见透射谱的分析和对红外吸......

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HW—MWECR沉积系统均匀性氢化非晶硅薄膜 HW-MWECR deposition system evenness hydrogenated amor

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