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一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法研究
针对单频激光干涉仪在位移测量中存在的非线性误差问题,研究了一种基于几何距离最小化的Heydemann修正算法,使用Jamin干涉仪和纳米......
期刊
计量学
差分平面镜干涉仪
Heydemann修正
非线性误差
metrologyJamin interferometerHeydemann correction
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