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Mg2Si/Si异质结的制备及I-V特性研究
采用磁控溅射和热处理系统制备Mg2Si/Si异质结。首先在n-Si(111)衬底上沉积Mg膜,经热处理后得到Mg2Si/Si异质结。利用XRD、SEM、表面......
期刊
磁控溅射
Mg2Si/Si异质结
I-V特性
DC-magnetron sputtering
Mg2Si/Si heterojunction
I-Vchar
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