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In2O3晶体薄膜相关论文
In_2O_3透明薄膜晶体管的制备及其电学性能的研究
采用磁控溅射方法在玻璃衬底上生长了In2O3晶体薄膜.该薄膜具有(111)晶面择优取向,晶粒尺寸达到33nm.利用光刻工艺制作了以In2O3晶......
期刊
薄膜晶体管
In_2O_3
电学性能
场效应迁移率
磁控溅射
光刻工艺
In2O3晶体薄膜
阈值电压
晶粒尺寸
栅压
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