LPCVD工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

LPCVD工艺相关论文

Si/SiC异质结的DLTS研究

在SiC衬底上制备出高质量的Si外延薄膜是实现SiC电力电子器件的非紫外光触发的有效方法之一。研究发现，两种材料之间存在不可避免的......

学位

LPCVD工艺碳化硅异质结外延薄膜光生载流子磁控溅射

掺磷多晶硅工艺及其腐蚀速率的研究

为更好掌握掺磷多晶硅腐蚀速率的变化规律,进而保障和改进MOS晶体管的栅极质量,从直接影响腐蚀速率的关键工步,包括多晶硅掺磷的均......

期刊

扩散三氯氧磷 LPCVD工艺多晶硅掺磷多晶硅腐蚀

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