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高阶表面光栅DFB半导体激光器关键技术研究
分布反馈(DFB)半导体激光器因其光谱线宽窄、稳定性好在多领域得到广泛应用。通过将光栅制作于器件表面,避免了二次外延工艺,减少了D......
学位
DFB半导体激光器
高阶Bragg光栅
光刻技术
Lift-off技术
侧向非对称光栅
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