LithoGraphy.相关论文
本文综述世界各国同步辐射光源的发展现状,展望未来同步辐射光源的发展方向和所面临的挑战。文中有关部分简述了中国科技大学国家......
ＬＩＧＡ工艺技术包括光刻、电铸和塑铸３个重要环节。而深层同步辐射光必掩膜技术是Ｘ射线光刻应用的关键之一。我们采用聚酰亚胺为衬基，以电铸......
