随着微电子机械系统(MEMS,MicroElectroMechanicalSystem)研究的深入和产业化的需求,其检测在MEMS中的重要性越来越大。光学检测方......

介绍了一种小型共焦成像仪,它由高性能的双轴硅转矩镜组成,转矩镜协同动态抛物面薄膜反射镜提供三维光束扫描。光束扫描驱动器置于......

采用两种热敏MEMS传感器阵列和一种电容式MEMS传感器，在FL-21风洞中开展了平板模型表面摩擦应力分布测量试验研究。试验马赫数（地）为0......

MEMS表面结构质量对其功能特性具有重要的影响,本文专门探索研究了MEMS表面结构三维测量评定,主要分析了其表面结构质量对其功能特......

信息获取技术尤其是获取微纳结构互相套准的物理特性和化学信息对于探索微观世界的奥秘具有十分重要的意义,本文在比较了国内外有......

利用MEMS(微机电系统)工艺中的扩散,刻蚀,氧化,金属溅射等工艺制备出SOI高温压力敏感芯片,并通过静电键合工艺在SOI芯片背面和玻璃......

利用同步辐射LIGA微铸复合工艺,将纳米氧化物增强颗粒复合到微电子机械系统(MEMS)结构材料中。制作了专用夹具,采用微力材料试验机......