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基于电磁驱动及磁电/电容检测的硅谐振式双轴角速率传感器设计和测试(英文)
本文介绍了一种MEMS角速率传感器的设计、制作和测试.该传感器采用硅梁作为支撑和震动的结构.电磁力在驱动模式中被用来激励质量块......
期刊
传感器设计
电磁驱动
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MEMS制作
响应频率
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离子蚀刻
等离子体增强
谐振式
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