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MEMS动态特性相关论文
一种MEMS微结构谐振频率的测试技术
MEMS技术的发展离不开相应的测试技术与装置,建立了一种简单的MEMS微结构动态特性的测试装置,以压电陶瓷为核心的基座激励装置实现对......
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MEMS测试技术
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