借助于微操作技术,人们可以随意加工和组装出三维MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)元件、操作微小生物对象或是移动微机器......

为使夹持器小型集成化且夹持力可控，采用体硅加工技术研制了一种基于单晶硅的、具有微力检测功能的新型四臂式MEMS微夹持器。以压阻......