MEMS微构件相关论文
MEMS微构件动态特性测试技术,主要包括振动激励、振动测试和模态分析三个方面,激励是实现动态特性测试的基本环节。通过查阅文献,综述......
针对MEMS微构件表面缺陷的问题,分析了其表面缺陷的基本特征、种类和检测方法,提出了利用显微机器视觉技术来检测MEMS微构件表面缺......