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近年来,抬头显示器、智能眼镜、头盔显示器、投影手机等移动智能设备的快速发展要求“内嵌式”微型投影仪有更小的体积、更高的分......
MEMS扫描镜作为MEMS激光雷达系统的核心部件,是一种获取空间物体三维信息的微执行器。近年来,随着智能化汽车的快速发展,MEMS激光......
温度是MEMS扫描镜的一个重要失效因素。研究温度对MEMS扫描镜振幅的影响,再通过温度冲击试验和高低温存储试验测试温度对MEMS扫描......
三维成像激光雷达在众多领域都有着广泛的应用前景,小型化是其重要的发展方向。MEMS扫描镜具有尺寸小、成本低、扫描频率高、响应......
为快速准确地检测出一张硅片上数百个MEMS扫描镜的良品与次品,设计了一种自动测量系统。选用高精度二维位置敏感探测器(PSD)设备,设......