随着微电子机械系统(Micro-electromechanical Systems,MEMS)技术的不断发展,硅微陀螺仪的研究越来越引起大家的重视,并且其应用领......

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MEMS环式陀螺仪是一种基于哥氏力效应设计出的测量角速度的惯性传感器,其性能与驱动模态直接相关;因此,在传统PLL-AGC驱动控制方法......