MEMS甲烷传感器相关论文
甲烷传感器作为矿山物联网一种重要的“感觉器官”,是煤矿生产的安全保障。随着MEMS技术的高速发展,出现了微型甲烷传感元件。MEMS......
在ANSYS有限元分析软件中对矿用微机电系统（MEMS）甲烷传感器硅微加热器功率进行了优化设计。首先建立了基于已知掺杂浓度求解一定温......
