MEMs光栅相关论文
光栅作为重要的光学器件在光学领域有着广泛和重要的应用,但是传统光栅结构参数一旦制作就不能改变,MEMS光栅的出现解决了这个问题,也......
根据MEMS光栅的工作特点及结构参数,提取光栅的等效电容,并采用高压运算放大器PA69研制出一种新型的MEMS光栅的动态驱动电路。为了......