MPCVD装置相关论文
微波等离子化学气相沉积（MPCVD）因为其无电极污染及等离子密度高而被作为制备高品质金刚石膜的首选方法。但是在高功率 MPCVD装置研......
微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）法因其独特的优势被认为是制备高质量金刚石膜的首选方法。本实验对圆柱形MPCVD装置谐振腔中的电场......
根据高功率MPCVD装置所需要具备的条件,提出一种新型的高功率MPCVD装置结构。先使用HFSS软件对模型的各部分尺寸进行了初步优化;然......
