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MR358单晶炉相关论文

Φ3英寸LEC GaAs单晶的试制

利用ＭＲ３５８单晶炉进行ＬＥＣＧａＡｓ单晶试制，采用原位合成工艺，不规则形状控制系统自动控制单晶的生长，对晶锭进行退火处理前后所做的电学及晶体完整性......

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LEC 退火分凝 MR358单晶炉砷化镓 LEC GaAsAnnealSegregationMR358 puller

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