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MOCVD技术制备的ZnS:Mn电致发光薄膜结晶性及Mn^2+分布
本文报导了用MOCVD技术制备的ZnS:Mn电致发光薄膜为立方晶相,结晶取向性好,颗粒大。从高倍率的扫描电镜拍摄的照片观察到薄膜的表面平滑。SIMS测量表......
期刊
MOCVD
电致发光
结晶性
锰2+
薄膜器件
MOCVD
thin film
crystallinity
Mn ̄(2+)distribution
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